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应用材料:深化中国市场,推动平板显示技术向

2019-05-14 点击量:

回顾国内平板显示器行业10年的发展,无论是CRT,PDP和LCD之间的战斗,还是目前新的显示技术OLED和液晶技术,我们都可以看到新技术的出现。 "显示器行业正处于技术变革和需求变化的时代。 "应用材料公司平板显示器CVD产品部总经理肖劲松表示。

事实上,我们可以感受到显示技术在美国CES,德国IFA等重大重量级展览中的快速发展。在2014年CES展会上,曲面,4k和OLED成为人们关注的焦点。当1080P逐渐走向主流时,4K显示时代正在悄然到来,而8K显示器则渴望尝试。这些现象归结为人们对更高视觉体验的追求并未停止,我们欢迎高分辨率的显示时代。为应对新的技术挑战,面板制造商需要与上游设备和材料供应商密切合作。

作为全球最大的半导体设备和服务供应商,应用材料公司继续开发显示领域的新技术,以推动显示技术的发展。应用材料公司因其在平板显示器制造领域的等离子增强化学气相沉积(PECVD)领域的杰出贡献而荣获2013年IEEE企业创新奖。 IEEE是世界上最大的专业协会,旨在促进人类科学技术的飞跃。 3月20日,应用材料公司平板显示器CVD产品部总经理肖金松博士和PVD产品部研发总监Marcus Bender博士分享了高分辨率应用材料公司的TFT和TFE解决方案显示时代。

 一、金属氧化物TFT解决方案

金属氧化物对设备稳定性和显示色差(Mura)有很高的要求。同时,金属氧化物主要用于高清移动设备和OLED电视。对于更高的粒度要求,有必要通过粒度控制来改进。收益率。

应用材料公司的CVD使用双层薄膜结构,其具有基于常规氮化硅的二氧化硅薄膜层。二氧化硅具有低氢含量,这导致良好的均匀性。在PVD方面,改善了IGZO的薄膜厚度和均匀性,采用了研磨粒径的系统设计,避免了金属氧化物色差(Mura)的发生。基于CVD和PVD的独特工艺和设计,世界领先的制造商正在使用应用材料公司的设备。

具体地,CVD使用空心阴极梯度降低技术(HCG)在大面积玻璃表面上形成均匀的等离子体,以确保大规模化学沉积的均匀性。此外,自上而下的RPSC工艺(远程等离子清洗)用于改善均匀性。通过这些设计,可以实现第十代的膜厚均匀性。就PVD而言,与常规工艺相比,使用旋转阴极溶液。旋转靶可以增加气流的均匀性,这对薄膜层的均匀性非常有帮助。目标的同时旋转使结瘤和再沉积最小化,并且与传统平面目标相比,缺陷控制得到显着改善。

 二、LTPS(低温多晶硅)TFT解决方案

在高分辨率移动显示器时代,随着类似体积的减少,OLED和LCD屏幕都需要双电容器技术。对CVD和PVD均匀性以及低粒度特性都提出了新的要求。应用材料公司是业内唯一一家提供从第5代到第6代到第8.5代的生产设备解决方案的公司。在PVD均匀性方面,应用材料公司2013年实现10%至8%,2014年实现5%,2015年实现3%。